哈爾濱工業大學復雜鈣鈦礦結構薄膜多功能 復合鍍膜設備項目招標公告 1.招標條件 本項目已通過主管部門審批，招標人為哈爾濱工業大學，項目已具備招標條件，現對該項目重新進行公開招標。 2.項目概況 2.1采購單位：材料學院 2.2項目名稱：復雜鈣鈦礦結構薄膜多功能復合鍍膜設備 2.3項目編號：HITGKZB-002 2.4采購數量：1 2.5采購預算：85萬元人民幣 2.6采購需求及主要技術指標（以用戶提供的序號排列）： 真空腔室 電子束腔室內凈尺寸Φ600×750mm，不銹鋼腔室通水冷卻；濺射腔室內凈尺寸Φ500×420mm； 真空系統 復合分子泵+機械泵系統,氣動真空閥門，兩套真空泵組“兩低一高”顯復合真空計； 極限真空 優于6.6×10-5Pa； 抽 速 從大氣抽至6.0×10-4Pa≤45min； 電子槍蒸發室 功率：8KVA；4穴或6穴坩堝可選；最高加熱溫度300℃，可調可控； 考夫曼離子源 配備60mm考夫曼離子源一套； 磁控濺射室 3只3英寸磁控濺射靶；3套電源；直流、中頻、射頻自動匹配。 基片臺 半球型基片臺；基片臺最大承重不小于5kg；旋轉速度：0-60轉/分鐘，可調可控，可加偏壓； 蒸發源離基片距離 蒸發源與基片距離≥350mm； 膜厚監控儀 美國INFICO型號SQC-310 ；配備2只水冷探頭； 控制方式 PLC+觸摸屏控制系統；控制系統采用個性化設計定制，可直接輸入參數，自動進行鍍膜流程。滿足復雜鍍膜、光學鍍膜需要。 報警及保護 對泵、電子槍等缺水、過流過壓、斷路等異常情況進行報警并執行相應保護措施；各種互鎖保護，保障操作人員及設備的安全性； 占地面積 長×寬: 2000×3500mm； 質保時間：1年 供貨時間：簽訂合同后6個月 3.投標人資格要求 3.1投標人需具備中華人民共和國境內的獨立法人資格，本次招標不接受聯合體投標，不允許將項目分包或轉包。 3.2投標人需具備《中華人民共和國政府采購法》第二十二條的條件，并未被列入政府采購黑名單。 3.3如果所投設備為進口產品，投標人需具備國外制造商在國內代理（銷售）商資格或國外制造商出具的原廠授權函。 4．資格審查方式 本項目采用資格后審方式,主要資格審查標準、內容等詳見招標文件。 5.投標報名 凡有意參加投標者，請于2016年3月16日至2016年3月22日(法定公休日、法定節假日除外)，每日上午8時30分至11時30分，下午13時30分至16時30分(北京時間)，將報名材料(本公告附件1、附件2)送達至哈爾濱市南崗區西大直街92號哈爾濱工業大學行政辦公樓203房間。 6.招標文件的獲取 如果報名符合開標條件，招標文件將以電子郵件的形式發送到您報名表中所留的郵箱，敬請自行查閱，哈工大招標與采購管理中心不再另行通知，請按招標文件要求交納相關費用，以獲取投標資格。 7.投標文件的遞交 7.1投標文件遞交截止時間及地點詳見招標文件。 7.2逾期送達的或者未送達指定地點的投標文件，招標人不予受理。 8.發布公告的媒介 本次招標公告同時在以下媒介上發布： 中國政府采購網（http://www.ccgp.gov.cn/） 中國招標投標網（http://www.cec.gov.cn/） 哈爾濱工業大學（http://www.hit.edu.cn/） 哈爾濱工業大學國資處(http://gzc.hit.edu.cn) 9.本項目招投標過程中如出現有弄虛作假、惡意投訴和無理纏訴行為的投標企業，將嚴格按相關法律和規定處理。 10.聯系方式 招標機構：哈爾濱工業大學招標與采購管理中心 地址：哈爾濱市南崗區西大直街92號哈爾濱工業大學行政辦公樓110房間 郵編：150001 招標聯系人：李占奎 李桂霞 電話： 0451-86417955 郵箱:zhankui@126.com 技術聯系人：李春東 電話： 0451-86418031 哈爾濱工業大學招標與采購管理中心 2016年3月15日